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DEVELOPMENT
被引：0
申请号：
JP19900308359
申请日：
1990-11-14
公开(公告)号：
JPH04180217A
公开(公告)日：
1992-06-26
发明(设计)人：
SHIRAISHI YASUSHI
申请人：
NEC CORP
申请人地址：
IPC主分类号：
G03F7/30
IPC分类号：
H01L21/027
H01L21/30
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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