一种真空紫外光机系统装调方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911407472.8

申请日：

2019-12-31

公开(公告)号：

CN111076813B

公开(公告)日：

2020-04-28

发明(设计)人：

秦文强王博郑锦坤杨伟华白永林王乐

申请人：

申请人地址：

710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号

IPC主分类号：

G01J142

IPC分类号：

G02B2762

代理机构：

西安智邦专利商标代理有限公司 61211

代理人：

胡乐

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-25	授权	授权
2020-05-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 1/42 申请日:20191231
2020-04-28	公开	公开

共 50 条

[1] 一种细管紫外光管、真空紫外装置及美容仪 [P].

罗璐 ;

江诗谦 ;

徐宝友 ;

刘国庆 .

中国专利 :CN208753258U ,2019-04-16

[2] 一种细管紫外光管、真空紫外装置及美容仪 [P].

罗璐 ;

江诗谦 ;

徐宝友 ;

刘国庆 .

中国专利 :CN109037010A ,2018-12-18

[3] 一种光机系统焦面装调工装及装调方法 [P].

李想 ;

梁旻 ;

杨松涛 .

中国专利 :CN117741892A ,2024-03-22

[4] 一种光机系统辅助装调装置 [P].

李伟艳 ;

吕群波 ;

刘扬阳 ;

张丹丹 ;

王建威 ;

裴琳琳 ;

陈鑫雯 ;

孙建颖 .

中国专利 :CN104216093A ,2014-12-17

[5] 一种极紫外光产生装置及方法 [P].

谢卓 ;

林景全 ;

王少康 ;

窦银萍 ;

李博超 .

中国专利 :CN119087753A ,2024-12-06

[6] 辅助光机装调系统 [P].

马俊林 ;

刘英 ;

杜杰 ;

邢妍 ;

党博石 .

中国专利 :CN111221142B ,2020-06-02

[7] 一种光学系统自动装调系统及装调方法 [P].

尚建忠 ;

吴伟 ;

罗自荣 ;

曹玉君 ;

卢钟岳 ;

蒋涛 ;

吴国恒 .

中国专利 :CN111796434A ,2020-10-20

[8] 一种利用真空紫外光清洗及活化材料表面的装置 [P].

王晨曦 ;

许继开 ;

刘艳南 ;

田艳红 ;

冯智健 ;

周诗承 ;

李思 ;

马竟轩 .

中国专利 :CN107068598A ,2017-08-18

[9] 极紫外光产生方法、极紫外光源组件及光学系统 [P].

谭熠 ;

陈锐 .

中国专利 :CN119668035A ,2025-03-21

[10] 一种紫外光源均光装置 [P].

张玉国 ;

孙红胜 ;

魏建强 ;

王加朋 ;

孙广尉 ;

任小婉 ;

宋春晖 .

中国专利 :CN103175608B ,2013-06-26

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