高分辨率福布斯非球面光刻物镜

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110352225.X

申请日：

2011-11-09

公开(公告)号：

CN102508353B

公开(公告)日：

2012-06-20

发明(设计)人：

李林马斌李艳秋刘丽辉韩星常军黄一帆

申请人：

申请人地址：

100081 北京市海淀区中关村南大街5号

IPC主分类号：

G02B1314

IPC分类号：

G02B1318 G02B1300 G02B1322 G03F720

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-06-20	公开	公开
2012-07-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101301312595 IPC(主分类):G02B 13/14 专利申请号:201110352225X 申请日:20111109
2014-04-16	授权	授权

共 50 条

[1] 高分辨率非球面光刻物镜 [P].

李林 ;

马斌 ;

李艳秋 ;

刘丽辉 ;

韩星 ;

常军 ;

黄一帆 .

中国专利 :CN101975983A ,2011-02-16

[2] 深紫外全球面光刻物镜 [P].

李林 ;

马斌 ;

李艳秋 ;

刘丽辉 ;

韩星 ;

常军 ;

黄一帆 .

中国专利 :CN101950065B ,2011-01-19

[3] 一种非球面光刻耦合物镜 [P].

范真节 ;

邢廷文 ;

林妩媚 ;

白瑜 ;

卢亮 .

中国专利 :CN103278913B ,2013-09-04

[4] 高分辨率光学镜头 [P].

叶孙华 .

中国专利 :CN203573016U ,2014-04-30

[5] 高分辨率内偏系统 [P].

阮宝菘 .

中国专利 :CN2055641U ,1990-04-04

[6] 光刻物镜非球面位置选择方法 [P].

李林 ;

马斌 ;

李艳秋 ;

刘丽辉 ;

韩星 ;

常军 ;

黄一帆 .

中国专利 :CN102590989A ,2012-07-18

[7] 一种非球面高分辨率的透镜组和成像系统 [P].

马庆鸿 .

中国专利 :CN106918896A ,2017-07-04

[8] 一种高分辨率视频摄远物镜 [P].

高兴宇 ;

郁道银 ;

龙跃 ;

萧泽新 .

中国专利 :CN103592744A ,2014-02-19

[9] 一种高分辨率视频摄远物镜 [P].

高兴宇 ;

郁道银 ;

龙跃 ;

萧泽新 .

中国专利 :CN203587872U ,2014-05-07

[10] 一种冷原子高分辨率成像显微物镜 [P].

操超 ;

缪麟 .

中国专利 :CN119414558A ,2025-02-11

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