基于多传感器数据融合的硅片预定位系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610148213.4

申请日：

2006-12-28

公开(公告)号：

CN100459095C

公开(公告)日：

2007-06-27

发明(设计)人：

曹其新黄春霞刘仁强王美玲

申请人：

申请人地址：

200240上海市闵行区东川路800号

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

G03F720 G03F900

代理机构：

上海交达专利事务所

代理人：

王锡麟;张宗明

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-08-22	实质审查的生效	实质审查的生效
2013-02-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101401318192 IPC(主分类):H01L 21/68 专利号:ZL2006101482134 申请日:20061228 授权公告日:20090204 终止日期:20111228
2007-06-27	公开	公开
2009-02-04	授权	授权

共 50 条

[1] 一种基于多传感器数据融合的定位系统及定位方法 [P].

郑子杰 ;

曾泓泰 ;

刘子拓 ;

闫玥凝 ;

张明璨 ;

王合胜 ;

邢飞凡 ;

张仁杰 .

中国专利 :CN110231027A ,2019-09-13

[2] 基于多传感器数据融合的AGV定位方法 [P].

邹见效 ;

李财 ;

于力 ;

徐红兵 .

中国专利 :CN110108269B ,2019-08-09

[3] 基于多传感器数据融合的木材含水率智能检测装置 [P].

曹军 ;

张佳薇 ;

花军 ;

孙丽萍 .

中国专利 :CN201255729Y ,2009-06-10

[4] 基于多传感器数据融合的GPS辅助定位方法 [P].

陶洋 ;

黄宏程 ;

万俊 ;

任步廷 ;

鲁贝贝 .

中国专利 :CN101907714B ,2010-12-08

[5] 基于多传感器数据融合的阀厅轨道机器人定位系统 [P].

孙昊 ;

张永生 ;

隋吉超 ;

李运厂 ;

孟杰 ;

刘永成 ;

蒋克强 .

中国专利 :CN204143263U ,2015-02-04

[6] 基于多传感器融合的智能定位系统 [P].

王出航 ;

陈丹 ;

陈思 .

中国专利 :CN118655606A ,2024-09-17

[7] 一种基于多传感器数据融合的AUV导航定位方法及系统 [P].

卢曼曼 ;

郭眀禹 ;

李宇航 ;

张南南 .

中国专利 :CN111829512A ,2020-10-27

[8] 一种基于多传感器数据融合的AUV导航定位方法及系统 [P].

卢曼曼 ;

郭眀禹 ;

李宇航 ;

张南南 .

中国专利 :CN111829512B ,2024-04-09

[9] 一种基于多传感器数据融合的无人船定位方法 [P].

袁明新 ;

赵泽钰 ;

王舜 ;

薛文博 ;

张亮 ;

申燚 ;

王雨欣 ;

吕增城 ;

王以龙 ;

刘维 .

中国专利 :CN115342814A ,2022-11-15

[10] 一种基于多传感器数据融合的无人船定位方法 [P].

袁明新 ;

赵泽钰 ;

王舜 ;

薛文博 ;

张亮 ;

申燚 ;

王雨欣 ;

吕增城 ;

王以龙 ;

刘维 .

中国专利 :CN115342814B ,2024-03-19

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