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真空紫外波段成像系统的平场定标装置及平场定标方法
被引:0
专利类型:
发明
申请号:
CN201210536501.2
申请日:
2012-12-12
公开(公告)号:
CN103033338A
公开(公告)日:
2013-04-10
发明(设计)人:
何玲平
陈波
王晓光
申请人:
申请人地址:
130033 吉林省长春市东南湖大路3888号
IPC主分类号:
G01M1100
IPC分类号:
代理机构:
长春菁华专利商标代理事务所 22210
代理人:
陶尊新
法律状态:
实质审查的生效
国省代码:
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法律状态
法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
2013-05-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101452519965 IPC(主分类):G01M 11/00 专利申请号:2012105365012 申请日:20121212 |
2013-04-10 | 公开 | 公开 |
2015-06-10 | 授权 | 授权 |