一种改进的OLED蒸镀装置及其改善蒸镀阴影效应的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811618558.0

申请日：

2018-12-28

公开(公告)号：

CN109536888A

公开(公告)日：

2019-03-29

发明(设计)人：

吴远武褚天舒

申请人：

申请人地址：

213200 江苏省常州市金坛市金坛区华城中路168号

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

北京律远专利代理事务所(普通合伙) 11574

代理人：

全成哲

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-29	公开	公开
2019-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20181228

共 50 条

[1] 一种改进的OLED蒸镀装置 [P].

吴远武 ;

褚天舒 .

中国专利 :CN209456545U ,2019-10-01

[2] 用于OLED蒸镀的金属遮罩及OLED蒸镀方法 [P].

李文辉 .

中国专利 :CN107636191A ,2018-01-26

[3] 一种蒸镀装置及OLED面板蒸镀方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN109536886A ,2019-03-29

[4] 一种蒸镀装置及OLED面板蒸镀方法 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN109536886B ,2024-05-14

[5] 一种蒸镀载板、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

刘肖楠 ;

陈颖冰 ;

高翔 ;

李军 ;

张磊 ;

田杰 ;

张楠 ;

陶欢 ;

杨林 .

中国专利 :CN113337803B ,2021-09-03

[6] 蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

李晓虎 ;

王路 ;

王伟杰 ;

焦志强 ;

袁广才 .

中国专利 :CN115216737B ,2024-03-26

[7] 蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

杨成发 ;

尹志 ;

王琦 ;

黄俊杰 .

中国专利 :CN107815649B ,2018-03-20

[8] 蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

赵文炎 ;

王彦青 .

中国专利 :CN112813383A ,2021-05-18

[9] 一种OLED蒸镀坩埚 [P].

邓云升 ;

周扬川 ;

王锦意 ;

柯贤军 ;

苏君海 ;

李建华 .

中国专利 :CN207749178U ,2018-08-21

[10] 一种OLED蒸镀组件的清洗设备 [P].

庄丹丹 ;

孙玉俊 .

中国专利 :CN216663207U ,2022-06-03

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