一种位移台分辨率和精度检测装置及其检测方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201910538455.1
申请日
2019-06-20
公开(公告)号
CN110146021A
公开(公告)日
2019-08-20
发明(设计)人
李胜斌 陈琳 李和平
申请人
申请人地址
550081 贵州省贵阳市观山湖区林城西路99号
IPC主分类号
G01B1100
IPC分类号
G01M1300
代理机构
贵阳中新专利商标事务所 52100
代理人
商小川
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]   一种位移台分辨率和精度检测装置 [P]. 
李胜斌 ;
陈琳 ;
李和平 .
中国专利 :CN210004952U ,2020-01-31
[2]   一种位移台分辨率和精度检测装置 [P]. 
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[3]   一种位移台分辨率和精度检测装置 [P]. 
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