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混合传感器系统和方法
被引:0
专利类型:
发明
申请号:
CN200680048532.6
申请日:
2006-12-14
公开(公告)号:
CN101346667A
公开(公告)日:
2009-01-14
发明(设计)人:
M·J·弗沃德尔唐克
申请人:
申请人地址:
荷兰艾恩德霍芬
IPC主分类号:
G03F720
IPC分类号:
代理机构:
中国专利代理(香港)有限公司
代理人:
李静岚;刘红
法律状态:
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码:
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法律状态
法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
2011-02-09 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101066680004 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2006800485326 公开日:20090114 |
2009-01-14 | 公开 | 公开 |
2009-03-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |