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基于超声波的半导体芯片缺陷检测系统
被引:0
专利类型:
实用新型
申请号:
CN201921685912.1
申请日:
2019-10-10
公开(公告)号:
CN211652689U
公开(公告)日:
2020-10-09
发明(设计)人:
朱汪龙
朱玲
申请人:
申请人地址:
214000 江苏省无锡市新吴区景贤路52号
IPC主分类号:
G01N2904
IPC分类号:
G01N2914
G01N2922
G01N2927
代理机构:
南京经纬专利商标代理有限公司 32200
代理人:
楼高潮
法律状态:
授权
国省代码:
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法律状态
法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
2020-10-09 | 授权 | 授权 |