共 50 条
等离子体处理装置以及等离子体处理方法
被引:0
专利类型:
发明
申请号:
CN201010524962.9
申请日:
2010-10-27
公开(公告)号:
CN102054649A
公开(公告)日:
2011-05-11
发明(设计)人:
山泽阳平
舆水地盐
齐藤昌司
传宝一树
山涌纯
饭塚八城
申请人:
申请人地址:
日本东京都
IPC主分类号:
H01J3732
IPC分类号:
H01L213065
代理机构:
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人:
龙淳
法律状态:
公开
国省代码:
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法律状态
法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
2011-05-11 | 公开 | 公开 |
2014-03-19 | 授权 | 授权 |
2011-06-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101081910929 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2010105249629 申请日:20101027 |