等离子体处理装置以及等离子体处理方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201010524962.9
申请日
2010-10-27
公开(公告)号
CN102054649A
公开(公告)日
2011-05-11
发明(设计)人
山泽阳平 舆水地盐 齐藤昌司 传宝一树 山涌纯 饭塚八城
申请人
申请人地址
日本东京都
IPC主分类号
H01J3732
IPC分类号
H01L213065
代理机构
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人
龙淳
法律状态
公开
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]   等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P]. 
山泽阳平 ;
舆水地盐 ;
齐藤昌司 ;
传宝一树 ;
山涌纯 .
中国专利 :CN102157325B ,2011-08-17
[2]   等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P]. 
山泽阳平 ;
舆水地盐 ;
齐藤昌司 ;
传宝一树 ;
山涌纯 .
中国专利 :CN104768317A ,2015-07-08
[3]   等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P]. 
山泽阳平 ;
舆水地盐 ;
传宝一树 ;
山涌纯 ;
齐藤昌司 .
中国专利 :CN102056395A ,2011-05-11
[4]   等离子体处理方法以及等离子体处理装置 [P]. 
小林保男 ;
川村刚平 .
中国专利 :CN100508134C ,2006-12-20
[5]   等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P]. 
大矢欣伸 ;
田边明良 ;
安田吉纪 .
中国专利 :CN104599930A ,2015-05-06
[6]   等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P]. 
大矢欣伸 ;
田边明良 ;
安田吉纪 .
中国专利 :CN102376559A ,2012-03-14
[7]   等离子体处理装置 [P]. 
山泽阳平 ;
传宝一树 ;
山涌纯 .
中国专利 :CN103209537A ,2013-07-17
[8]   等离子体处理装置 [P]. 
山泽阳平 ;
传宝一树 ;
山涌纯 .
中国专利 :CN102056394A ,2011-05-11
[9]   等离子体处理装置 [P]. 
山泽阳平 ;
传宝一树 ;
山涌纯 .
中国专利 :CN105704904A ,2016-06-22
[10]   等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P]. 
岸宏树 ;
徐智洙 .
中国专利 :CN106920733B ,2017-07-04