DEVELOPMENT OF INVERTED SPUTTER SOURCE

被引:27
作者
CHAPMAN, KR [1 ]
机构
[1] FLORIDA STATE UNIV,DEPT PHYS,TALLAHASSEE,FL 32306
关键词
D O I
10.1109/TNS.1976.4328415
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:1109 / 1112
页数:4
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