NITRIDATION OF HIGH-PURITY SILICON

被引：19

作者：

ATKINSON, A ^{[1
]}

MOULSON, AJ ^{[1
]}

ROBERTS, EW ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV LEEDS,DEPT CERAMICS,LEEDS,ENGLAND

来源：

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE | 1975年 / 10卷 / 07期

关键词：

D O I：

10.1007/BF00541409

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：1242 / 1243

页数：2

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共 2 条

[1] MECHANISM FOR NITRIDATION OF SILICON POWDER COMPACTS [J].

ATKINSON, A ;

LEATT, PJ ;

MOULSON, AJ ;

ROBERTS, EW .

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE, 1974, 9 (06) :981-984

[2] KINETICS OF NITRIDATION OF SI POWDER COMPACTS [J].

MESSIER, DR ;

WONG, P .

JOURNAL OF THE AMERICAN CERAMIC SOCIETY, 1973, 56 (09) :480-485