INTERFACE AND PRECIPITATION EFFECTS IN SOLID-PHASE EPITAXY OF SB IMPLANTED AMORPHOUS SI

被引：7

作者：

CAMPISANO, SU ^{[1
]}

GIBSON, JM ^{[1
]}

POATE, JM ^{[1
]}

机构：

[1] AT&T BELL LABS,MURRAY HILL,NJ 07974

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.95546

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：580 / 581

页数：2

共 4 条

CAMPISANO, SU ;

CHU, TC .

APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING, 1983, 31 (03) :157-160

[2]

LAU SS, 1980, HDB SEMICONDUCTORS, V3, pCH3

NARAYAN, J .

[4]

WILLIAMS JS, 1983, SURFACE MODIFICATION, pCH5