ANODIC DISSOLUTION OF SILICON IN HYDROFLUORIC ACID SOLUTIONS

被引：312

作者：

MEMMING, R

SCHWANDT, G

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0039-6028(66)90071-9

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：109 / &

共 12 条

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