DIGITAL BEAM CONTROL FOR FAST DIFFERENTIAL VOLTAGE CONTRAST

被引：10

作者：

SARDO, A ^{[1
]}

VANZI, M ^{[1
]}

机构：

[1] TELETTRA SPA,I-40126 BOLOGNA,ITALY

来源：

关键词：

D O I：

10.1002/sca.4950060302

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：122 / 127

页数：6

共 6 条

[1] EXAMPLES OF IMAGE-PROCESSING USING A COMPUTER-CONTROLLED SEM [J].

ARTZ, BE .

[2]

FLEMMING JP, 1970, SCANNING ELECTRON MI, P465

[3] FUNDAMENTALS OF ELECTRON-BEAM TESTING OF INTEGRATED-CIRCUITS [J].

MENZEL, E ;

KUBALEK, E .

[4] ISOLATION OF POTENTIAL CONTRAST IN SCANNING ELECTRON MICROSCOPE [J].

OATLEY, CW .

JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 1969, 2 (08) :742-&

[5]

PIWCZYK B, 1974, 12TH ANN P IEEE REL, P49

[6]

1979, TN1310 TRAC NO INC