半导体科学技术发展的历史回顾

被引：5

作者：

彭英才

机构：

[1] 河北大学电子与信息工程系

来源：

关键词：

化合物半导体; 电子气; 载流子; 器件; 应变层超晶格; 异质结; 半导体结; 表面原子结构; 非晶态半导体材料; 物理; 二维激子; 量子阱红外探测器; 光学光刻技术; 人工材料; 科学技术发展; 量子霍耳效应; 量子化霍耳效应; 超薄层外延; 共振隧穿效应;

D O I：

暂无

中图分类号：

O649 [半导体化学];

学科分类号：

080501 ;

摘要：

半导体科学技术是２０世纪中最伟大和最重要的科技成就之一。在高新技术迅速发展的今天，重温其发展历程，总结其发展规律和认识其发展特点，具有重要的现实意义。作者着重评述了近半个世纪以来，半导体科学技术在材料、物理、器件与工艺四个领域内所取得的一系列重大进展。

引用

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