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相位光栅自动对准技术研究
被引：1
作者：
庞亚军
机构：
[1] 电子工业部第四十五研究所
来源：
关键词：
相位光栅，空间滤波，调制解调，四象限;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN305.7 [光刻、掩膜];
学科分类号：
1401 ;
摘要：
阐述了相位光栅的成象原理，以及在分步曝光机关键技术自动对准上的应用，并对自动对准光路系统和电气控制系统进行了具体分析和研究。
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