根据中国30个省份工业企业2001~2011年的面板数据,基于F(a|¨)rePrimont TFP指数DEA方法,测算各省份国有、私营和外资企业的综合效率、TFP增长及其分解要素,对其发展模式进行类别划分。结果表明,外资和私营企业的综合效率均值始终高于国有企业;工业企业表现出不同的效率优势,私营企业的优势在于技术效率和规模效率,国有企业的优势在于技术效率水平低但增长趋势显著,外资企业的优势在于范围经济效率;在研究期内TFP增长均产生了大幅增长,主要原因在于整体技术进步水平的大幅提高。进入高效高速发展模式省份最多的是外资企业,其次依次是私营和国有企业,三类企业地区间两极分化趋势明显。