CHARACTERIZATION OF HARD CARBON-FILMS BY ELECTRON-ENERGY LOSS SPECTROMETRY

被引：51

作者：

WEISSMANTEL, C ^{[1
]}

BEWILOGUA, K ^{[1
]}

SCHURER, C ^{[1
]}

BREUER, K ^{[1
]}

ZSCHEILE, H ^{[1
]}

机构：

[1] ADW,ZENT INST ELEKTRO PHYS,DDR-108 BERLIN,GER DEM REP

来源：

THIN SOLID FILMS | 1979年 / 61卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(79)90451-6

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

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页数：4

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共 6 条

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